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Milliseconde System pour des études thermiques de désorption d'UHV

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Le poste de travail du TPD de Hiden fournit une plate-forme souple pour les études thermiques avec précision commandées de désorption (TDS) dans le régime de pression d'UHV par une température ambiante de 50 C à C. 1000.

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Les applications communes incluent des études de désorption des gaufrettes de silicium et des revêtements en couche mince, quantification d'évolution d'hydrogène des métaux. L'étape témoin, avec la rampe de la température entièrement programmable aux taux à 40 C par minute, est enveloppée par un refroidissement par eau de incorporation de bouclier thermique pour réduire au minimum le dégazage et le taux frais de bas d'entre-échantillon. Le chargement et l'extraction rapides témoin est permis par l'intermédiaire du mécanisme de serrure de charge d'UHV et de transfert d'échantillon, maintenant la qualité primaire optima de vide. Des échantillons, typiquement sous la forme de gaufrette, sont franchement placés sur l'étape témoin pour assurer le contact thermique efficace avec la surface d'appareil de chauffage. Le spectromètre de masse quadripolaire, aussi avec la veste à refroidissement par eau, est monté avec l'ouverture d'acceptation près de la surface témoin pour la capture optima des gaz évolués. La température d'échantillon est fusionnée directement avec le programme doux de contrôle et d'acquisition pour la présentation combinée des espèces évoluées multiples avec la température.