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Calibrage du microscope avec la cible d'Opto avec 1.000 paires de lignes par millimètre

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Étalonnage de tout système optique avec la cible d'étalonnage d'Opto

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Comme chaque microscope possède un objectif, un écran ou une caméra différents, il est nécessaire de faire une comparaison avec une norme. Afin d'effectuer un étalonnage ou une analyse de la capacité des machines pour ces mesures de haute précision, des réticules, des cadrans, des plaques d'essai ou des plaques d'étalonnage appropriés sont nécessaires.

Les cibles de test communes de l'USAF se terminent à une fréquence d'environ 250 paires de lignes par millimètre, soit 2µm par ligne en termes de résolution. De plus, les autres balances disponibles sur le marché n'ont pour la plupart que des largeurs de structure de plusieurs micromètres. Le nouvel étalon d'Opto avec ses 1 000 paires de lignes par mm (0,5 µm) et l'étoile Siemens intégrée avec des géométries de pointe de 500 nm est donc très en avance.

Erreur de distorsion dans le champ d'image

En particulier dans la fabrication de microsystèmes, les exigences les plus élevées sont posées au contrôle des processus dans la gamme µ. Outre la résolution, la distorsion et l'étalonnage des longueurs absolues sont également des spécifications essentielles qui sont souvent requises

La cible d'étalonnage contient des grilles de points d'un diamètre de 10 et 20 µm, respectivement, qui ont été spécialement développées pour la microscopie et le traitement d'images industriel et qui conviennent pour déterminer les erreurs de distorsion dans le champ d'image. Cela permet d'ajuster et de corriger les systèmes d'analyse d'images. Des contrastes sont également appliqués avec des structures inverses de tailles différentes. L'échelle intégrée de 20 mm de long avec des pas de 10 µm est optimale pour l'étalonnage des instruments de mesure. Lors de la production, une grande importance a été accordée à la réflexion maximale et aux flancs à haute résolution (transitions clair-obscur). Tous les paramètres optiques d'un microscope et d'un système d'analyse d'images peuvent être mesurés et calibrés avec une seule plaque d'étalonnage. Les plaques d'étalonnage sont fournies en option avec un certificat du DKD afin de pouvoir prouver la capacité de mesure selon la norme DIN ISO. Les distances ou diamètres individuels sont mesurés et documentés selon des normes par des instituts certifiés et sont donc adaptés pour prouver la capacité de mesure des systèmes. Montées sur des supports de microscope de la taille standard de 76x26x4,5 mm, elles peuvent être facilement tenues et transportées et utilisées avec des microscopes ou des instruments de mesure courants.

Norme de particules pour l'analyse de la saleté résiduelle

Outre les exigences de précision dimensionnelle, la vérification des algorithmes est de plus en plus nécessaire. Par exemple, l'analyse de la saleté résiduelle requiert la longueur d'une fibre. Le problème ici est qu'une caméra ne voit qu'une ligne noire incurvée sur un fond qui n'est malheureusement pas toujours blanc. Alors comment le logiciel sait-il qu'il faut étirer la fibre avant qu'elle ne manque du début à la fin ? Ou lorsque deux fibres sont superposées. Où se termine l'un et où commence l'autre ? Ce sont des exemples simples, qui deviennent encore plus complexes et divers, surtout avec des échantillons difficilement prévisibles. C'est pourquoi une norme de particules a été élaborée, à laquelle des particules de formes et de motifs clairement définis ont été appliquées sur un champ de 50x50mm. La cible des particules est devenue la norme sur ce marché. Il peut être utilisé pour comparer les performances de différents systèmes ainsi qu'une norme d'étalonnage pour votre propre appareil. Les deux cibles sont fournies dans une housse de protection en bois précieux, dans laquelle elles peuvent être facilement transportées et stockées.

Auteur

Markus Riedi, PDG, Opto GmbH